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PINUS1-B

關鍵字導讀: PECVD PVD ETCH MEMS

描述:直驅電機結構,全新的IO模塊,具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能,擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定製,手臂長度可選,可爲客戶提供接口及末端定製服務。

簡介

Introduction

直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據需求配置成互鎖,傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能,減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,並支持熱插拔功能。可以根據客戶應用的特殊要求,定製手臂尺寸,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等。


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參數

Parameter


本體重量Body Weight50KG
適用晶圓尺寸Wafer Size300mm/200mm/150mm/125mm/100mm
負載Payload1KG
電源輸入Power SupplyAC電壓:100-240V?? ?AC頻率:50HZ/60HZ
節拍Bear4s-8.1s(Pick,Rotate180°,Place,根據手指材料,傳輸位置不同相關)
動態偏差糾正精度(AWC)±0.1mm
重複定位精度RepeatabilityZ: ±0.05mm(3σ)
T: ±0.003°(3σ)
R: ±0.05mm(3σ)
漏率Leak rate< ?1 x 10E-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure5X10-9Torr

適用溫度 Applicable ?temperature

法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃

潔淨度Clean Class

ISO ?CLASS1

MCBF

>1100million cycles

複合運動 Compound ?motion

支持Support
PC遠程操作軟件支持Support
通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互鎖IO interlock

支持Support

安全區Safe area

支持Support

碰撞保護Collision ?protection

支持Support



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